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主要设备
Perkin Elmer PE550 Aligner 光刻机 #1：
品牌：Perkin Elmer 珀金埃尔默
型号：PE550
序列号：55040R
数量：1
生产年份：1982
Perkin Elmer PE550 Aligner 光刻机 #2：
品牌：Perkin Elmer珀金埃尔默
型号：PE550
序列号：L3111
数量：1
生产年份：1982
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